الفحص المجهري متحد البؤر متحد البؤر الليزر المسح المجهري الليزر المسح الضوئي ليزر المجهر صورة القرار البصريات الأشعة تحت الحمراء ليزر ديود مجهر المسح النفقي أشباه الموصلات المجهر الإلكتروني الماسح ضبط تلقائي للصورة التكنولوجيا آلة الأجهزة