رقيقة تبخر ترسيب البخار المادي الثرثرة الكربون يشبه الماس إيداع نظام ترسيب بخار كيميائي مملوك للبلازما فيلم شفاف بصريات بندقية الإلكترون مكنسة الفراغ الفائق طلاء بلازما آلة