ترسيب البخار المادي الثرثرة أيون شعاع ترسب شعاع أيون ترسب أيون ترسب ترسب الضيق ترسب الفراغ تبخر مصدر أيون ترسيب الأبخرة الكيميائية إيداع بخار أيون رقيقة شعاع أيون مركّز آلة زاوية